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上海集成電路研發中心有限公司

集团旗下上海集成電路研發中心有限公司(ICRD)成立于2002年,是国家支持组建、产学研合作的国家级集成电路研发中心。

上海集成电路研发中心聚焦集成电路主流技术路线,致力于解决重大共性技术的研发及服务支撑问题,并为自主可控产业链建设提供公共的装备和材料验证平台。ICRD掌握了多个技术代的工藝技術和知识产权,为中国集成电路生产线的建设提供了多套技术转移和服务;通过设立产业界共性技术研发项目,进行FinFET器件及工艺、FDSOI关键工艺、5nm以下纳米线晶体管等新器件和工藝技術的联合研发;开展产学研合作,研发STT-MRAM、晶体管级3D堆叠、量子点传感器、类神经元晶体管等前沿技术和产品;通过以先进工艺带动装备和材料研发评价的方式,为国产光刻机、刻蚀机、铜互连、光刻胶、大硅片等装备和材料提供全方位验证和工艺配套,推动供应链的国产化。

同時,ICRD通過不斷完善設備設施條件,加強國際合作,建成了中國條件最好的集成電路人才實訓基地,並對全行業和高校開放。